Dise�no y caracterizaci�on de un sistema de pulverizaci�on cat�odica DC para la deposici�on de pel�iculas delgadas de tierras raras y metales de transici�on Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals /
| Autor Corporativo: | |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Artículo |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
[Tolima] :
[Universidad Del Tolima],
[2009]
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://elibro.net/ereader/ufasta/94724 |
| Aporte de: | Registro referencial: Solicitar el recurso aquí |
| Publicado: | Vol. 1, num. 4 (2009)- |
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| Descripción Física: | 13-18 p. |
| Frecuencia de Publicación: | Anual |
| ISSN: | 1909-4841 |