Dise�no y caracterizaci�on de un sistema de pulverizaci�on cat�odica DC para la deposici�on de pel�iculas delgadas de tierras raras y metales de transici�on Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals /
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Formato: | Artículo |
Lenguaje: | Español |
Publicado: |
[Tolima] :
[Universidad Del Tolima],
[2009]
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