Un estudio con espectroscopía Raman de películas delgadas de silicio microcristalino dopado tipo p

Se estudian las propiedades estructurales, ópticas y eléctricas de películas delgadas microcristalinas de silicio tipo p, depositadas a muy baja temperatura en función de la concentración de diborano en los gases de reacción y de la naturaleza del sustrato. Las películas fueron depositadas sobre vid...

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Concari, Sonia Beatriz, Buitrago, Román Horacio, Risso, Graciela, Cutrera, Miriam Edith, Battioni, Mario Rubén
Formato: Artículo publishedVersion
Lenguaje:Español
Publicado: Asociación Física Argentina 1999
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v11_n01_p246
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires

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