Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS.

Esta tesis de doctorado fue desarrollada en el marco de un proyecto de colaboración entre el Instituto Balseiro, la Universidad de Boston (U.S.A) y Lucent-Alcatel (U.S.A), denominado proyecto Atomic Calligraphy el cual plantea la construcción sistema de impresión 3D de nano-estructuras usando dispo...

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Detalles Bibliográficos
Autor principal: Corro, Pablo G. del
Formato: Tesis NonPeerReviewed
Lenguaje:Español
Publicado: 2017
Materias:
Nanotecnología
[Micro-electromechanical systems
Sistemas micro-electromecánicos
Comb drives
Nano-fabrication
Nano-fabricación
Capacitive sensing
Sensado capacitivo
Dynamics stencil
Estencil dinámico
Thermal evaporation
Evaporación térmica ]
Acceso en línea:http://ricabib.cab.cnea.gov.ar/862/1/1del_Corro.pdf
Aporte de:
Repositorio Institucional Centro Atómico Bariloche e Instituto Balseiro (RICABIB) de Instituto Balseiro

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