Rugosímetros ópticos basados en la aberración cromática y esférica del sistema de enfoque
Se presentan dos técnicas ópticas para la medida de rugosidades de superficies. En el primer caso, se utiliza luz blanca y el principio de operación está basado en la aberración cromática del sistema de enfoque. El segundo método emplea luz láser y se basa en la aberración esférica longitudinal del...
Autores principales: | , , |
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Formato: | Artículo publishedVersion |
Lenguaje: | Español |
Publicado: |
Asociación Física Argentina
1990
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Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v02_n01_p168 |
Aporte de: |
Sumario: | Se presentan dos técnicas ópticas para la medida de rugosidades de superficies. En el primer caso, se utiliza luz blanca y el principio de operación está basado en la aberración cromática del sistema de enfoque. El segundo método emplea luz láser y se basa en la aberración esférica longitudinal del sistema de enfoque. La microtopografía de la muestra se reconstruye luego de un barrido automático punto a punto. |
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