Caracterización de películas delgadas de ZnO dopado con Al₂O₃ depositadas por la técnica de sputtering RF

Los filmes de óxido de zinc dopados con aluminio (ZnO:Al), material utilizado como electrodo frontal en celdas solares, se depositaron en una unidad de erosionado catódico con RF (sputtering RF). Se utilizó como electrodo una pastilla comercial de ZnO/Al₂O₃ con 97,1/2,9 % en peso. Se dispuso de una...

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Furlani, Mirta Gladis, Buitrago, Román Horacio
Formato: Artículo publishedVersion
Lenguaje:Español
Publicado: Asociación Física Argentina 2000
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v12_n01_p236
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires

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