MEMS: Diseño de un microrelay con tecnología SOI

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires, AR, Jornadas de desarrollo e innovación, 4, Electrónica e informática, desarrollo tecnológico, precompetitivo
Formato: conferenceObject
Lenguaje:Español
Publicado: INTI 2002
Materias:
Dispositivos electrónicos
Microelectrónica
Diseño
Silicio
Prototipos
Acceso en línea:http://www-biblio.inti.gob.ar:80/gsdl/collect/inti/index/assoc/HASH89cb.dir/doc.pdf
Aporte de:
Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI) de INTI
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