MEMS: Diseño de un microrelay con tecnología SOI

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires, AR, Jornadas de desarrollo e innovación, 4, Electrónica e informática, desarrollo tecnológico, precompetitivo
Formato:	conferenceObject
Lenguaje:	Español
Publicado:	INTI 2002
Materias:	Dispositivos electrónicos Microelectrónica Diseño Silicio Prototipos
Acceso en línea:	http://www-biblio.inti.gob.ar:80/gsdl/collect/inti/index/assoc/HASH89cb.dir/doc.pdf
Aporte de:	Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI) de INTI

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