Túnel Fowler-Nordheim en estructuras MOS con carga atrapada en el aislante
En este trabajo se muestra que la corriente de túnel a través del aislante de puerta de una estructura Al-SiO₂Si con carga atrapada en el óxido, puede ser descripta por una expresión del tipo Fowler-Nordheim modificada, donde el campo catódico es reemplazado por la pendiente de la barrera de potenci...
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Autores principales: | , , |
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Lenguaje: | Español |
Publicado: |
1995
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Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v07_n01_p213 |
Aporte de: |
Sumario: | En este trabajo se muestra que la corriente de túnel a través del aislante de puerta de una estructura Al-SiO₂Si con carga atrapada en el óxido, puede ser descripta por una expresión del tipo Fowler-Nordheim modificada, donde el campo catódico es reemplazado por la pendiente de la barrera de potencial a la energía correspondiente al nivel de Fermi en el cátodo. La carga atrapada en el aislante se considera uniformemente distribuida y su valor se deduce a partir del corrimiento de la tensión de bandas planas |
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