Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados

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En este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode...

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Rava, D., Ferrero, Hugo Eduardo, Fidalgo, Luis Enrique, Agüero, Mónica Beatriz, Hnilo, Alejandro Andrés, Kovalsky, M.
Lenguaje:Español
Publicado: 2014
Materias:
MICROMAQUINADO LASER
OBLEAS DE SILICIO
LASER DE ND:YAG
LASER MICROMACHINING
SILICON WAFER
ND:YAG LASER
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v25_n02_p091
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires

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